渦旋真空泵理論與實踐

目錄
前言
第1章 緒論 1
1.1 真空 1
1.2 真空泵概述 2
1.2.1 真空泵的分類 2
1.2.2 真空泵的主要性能參數(shù) 4
1.3 渦旋干式真空泵的特點與發(fā)展 5
1.3.1 渦旋干式真空泵的特點 5
1.3.2 渦旋干式真空泵國內外發(fā)展現(xiàn)狀 6
參考文獻 9
第2章 渦旋真空泵工作原理與型線 11
2.1 渦旋真空泵的工作原理 11
2.1.1 工作腔的變化過程 12
2.1.2 渦旋齒各部分型線的劃分 13
2.1.3 渦旋盤的基本結構參數(shù) 14
2.2 平面曲線嚙合原理 15
2.2.1 平面平動的基本原理 15
2.2.2 平面曲線族的包絡線理論 17
2.2.3 內外共軛型線 18
2.3 渦旋真空泵的理論型線 20
2.3.1 圓漸開線渦旋齒理論 20
2.3.2 變基圓漸開線渦旋齒理論 25
2.4 渦旋齒的型線修正 30
2.4.1 雙圓弧修正 31
2.4.2 雙圓弧直線修正 34
2.4.3 其他修正方法 35
2.5 常用渦旋型線及其發(fā)展 36
參考文獻 39
第3章 渦旋干式真空泵結構 41
3.1 渦旋干式真空泵總體結構和工作過程 41
3.1.1 渦旋干式真空泵總體結構 41
3.1.2 渦旋干式真空泵工作過程 43
3.2 驅動與傳動機構 43
3.2.1 驅動方式 44
3.2.2 主軸結構 45
3.2.3 防自轉機構 46
3.3 軸承與支撐 49
3.4 密封與潤滑 51
3.4.1 渦旋干式真空泵中的密封 51
3.4.2 渦旋干式真空泵中的潤滑 53
3.5 動平衡與冷卻 54
3.5.1 動平衡 54
3.5.2 冷卻 56
3.6 排氣閥與氣鎮(zhèn) 57
3.6.1 排氣閥 57
3.6.2 氣鎮(zhèn) 58
參考文獻 59
第4章 渦旋真空泵的力學分析 60
4.1 渦旋齒工作腔容積的計算 60
4.1.1 工作腔容積 60
4.1.2 吸氣腔容積 61
4.1.3 排氣腔容積 61
4.1.4 壓縮比 64
4.2 渦旋齒氣體力分析 64
4.3 非整數(shù)圈渦旋齒的氣體力分析 67
4.3.1 非整數(shù)圈的定義 67
4.3.2 氣體力分析 68
4.4 渦旋真空泵主要受力分析 68
4.4.1 動渦旋盤的受力分析 68
4.4.2 十字滑環(huán)受力分析 71
4.5 渦旋真空泵的動平衡設計 72
4.5.1 一次平衡 73
4.5.2 二次平衡 74
4.5.3 SolidWorks在渦旋真空泵動平衡設計中的應用 75
參考文獻 77
第5章 渦旋真空泵的熱力過程和傳熱 78
5.1 渦旋真空泵的熱力過程 78
5.2 渦旋真空泵的泄漏模型 80
5.2.1 泄漏通道 80
5.2.2 密封部位的徑向泄漏質量流率 80
5.2.3 密封部分的軸向泄漏質量流率 83
5.3 過壓縮與欠壓縮 84
5.4 渦旋真空泵的傳熱 85
5.4.1 吸氣過程換熱 86
5.4.2 工作腔之間的換熱 87
5.4.3 機殼內氣體的換熱 88
5.5 機械摩擦 88
參考文獻 90
第6章 渦旋真空泵主要性能參數(shù) 91
6.1 渦旋真空泵的間隙大小 91
6.2 渦旋真空泵的抽氣速率 92
6.3 渦旋真空泵的極限壓力 92
6.4 渦旋真空泵的功率 93
6.5 設計計算實例 94
6.5.1 主要參數(shù) 94
6.5.2 設計計算 95
參考文獻 96
第7章 渦旋真空泵的噪聲 97
7.1 噪聲評價 97
7.1.1 聲壓、聲強和聲功率 97
7.1.2 聲壓級、聲強級和聲功率級 98
7.1.3 噪聲頻譜 99
7.1.4 響度級和等響曲線 101
7.1.5 A聲級和等效連續(xù)A聲級 102
7.2 主要噪聲來源 103
7.3 噪聲測試實驗 104
7.3.1 測試條件 104
7.3.2 測試位置 105
7.3.3 測試結果分析 106
7.3.4 噪聲測試實驗總結 114
參考文獻 115
第8章 渦旋真空泵內的流動模擬 116
8.1 計算流體力學基礎 116
8.1.1 控制方程 116
8.1.2 湍流模型 118
8.1.3 定解條件 120
8.1.4 數(shù)值求解 120
8.2 渦旋腔內氣體流動的CFD 模擬 121
8.2.1 幾何模型的建立 121
8.2.2 計算域網(wǎng)格生成 123
8.2.3 動網(wǎng)格方法 124
8.2.4 數(shù)值模擬基本設置 127
8.2.5 模擬結果與測試結果比較分析 128
8.3 渦旋真空泵內的流動過程與規(guī)律 135
8.3.1 渦旋真空泵內流動過程分析 135
8.3.2 渦旋真空泵內流場分析 137
8.4 渦旋真空泵內熱場分析 140
參考文獻 143
第9章 渦旋真空泵的應用 145
9.1 渦旋真空泵在薄膜工程中的應用 146
9.2 渦旋真空泵在醫(yī)療設備上的應用 148
9.2.1 渦旋真空泵在醫(yī)療負壓抽氣系統(tǒng)中的應用 148
9.2.2 渦旋真空泵在蛋白質類藥物制備中的應用 149
9.3 渦旋真空泵在大科學工程和先進儀器上的應用 150
9.3.1 渦旋真空泵在同步輻射光源中的應用 150
9.3.2 渦旋真空泵在超導托卡馬克裝置中的應用 152
9.3.3 渦旋真空泵在掃描電子顯微鏡中的應用 153
9.3.4 渦旋真空泵在質譜儀中的應用 154
參考文獻 155