晶體硅太陽電池制造工藝原理（第2版）

第1章 緒論
1． 1 光伏效應
1． 2 陽光資源
1． 3 太陽能光伏發(fā)電系統(tǒng)
1． 3． 1 太陽能光伏發(fā)電系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)
1． 3． 2 分布式光伏發(fā)電系統(tǒng)
1． 3． 3 微電網(wǎng)系統(tǒng)
1． 3． 4 大型光伏電站
1． 4 晶體硅太陽電池和組件的制造
參考文獻
第2章 太陽能用多晶硅生產(chǎn)工藝
2． 1 西門子法
2． 2 硅烷法
2． 3 流化床法
2． 4 冶金法
參考文獻
第3章 太陽電池用硅晶體生長工藝
3． 1 直拉單晶硅
3． 1． 1 直拉單晶爐
3． 1． 2 直拉單晶工藝
3． 1． 3 直拉單晶的影響因素
3． 1． 4 雜質(zhì)的引入、分布和摻雜
3． 2 鑄造多晶硅
3． 2． 1 多晶硅鑄造技術(shù)
3． 2． 2 定向凝固多晶硅鑄錠爐
3． 2． 3 多晶硅鑄錠爐熱場數(shù)學模型
3． 2． 4 多晶硅鑄造生長工藝
3． 2． 5 鑄造多晶硅生長的影響因素
3． 2． 6 準單晶硅和高效多晶硅
3． 2． 7 多晶硅鑄錠用坩堝
參考文獻
第4章 硅片多線切割及測試
4． 1 硅片多線切割
4． 2 硅晶體性能及測試
4． 2． 1 渦流法電阻率檢測
4． 2． 2 硅塊少子壽命測試
4． 2． 3 硅塊紅外探傷
4． 2． 4 無接觸硅片厚度測試
4． 2． 5 硅片分選
4． 2． 6 晶體硅中的氧
4． 2． 7 晶體硅中的碳
4． 2． 8 晶體硅中的金屬雜質(zhì)及影響
4． 2． 9 位錯和缺陷
參考文獻
第5章 硅片的清洗和制絨
5． 1 硅片的選擇
5． 2 硅片清洗
5． 2． 1 硅片表面的沾污源
5． 2． 2 化學清洗原理
5． 2． 3 物理清洗原理
5． 2． 4 硅片及器具的清洗
5． 3 硅片腐蝕減薄
5． 4 硅片絨面制備
5． 4． 1 堿腐蝕單晶硅片制絨
5． 4． 2 酸腐蝕多晶硅片制絨
5． 4． 3 硅片制絨質(zhì)量檢驗
5． 5 硅片制絨新技術(shù)
參考文獻
第6章 摻雜制備pn結(jié)
6． 1 擴散法摻雜制備pn結(jié)
6． 1． 1 擴散現(xiàn)象
6． 1． 2 擴散層雜質(zhì)濃度分布
6． 1． 3 兩步擴散法制結(jié)原理
6． 1． 4 固-固擴散制結(jié)原理
6． 1． 5 擴散制結(jié)的質(zhì)量參數(shù)
6． 1． 6 擴散制結(jié)條件的選擇
6． 1． 7 p型硅片的磷擴散制結(jié)工藝
6． 1． 8 擴散制結(jié)的質(zhì)量檢測
6． 2 離子注入摻雜制結(jié)
6． 2． 1 離子注入摻雜的原理
6． 2． 2 注入離子的離子分布
6． 2． 3 注入離子的離子阻滯
6． 2． 4 離子注入的溝道效應
6． 2． 5 離子注入損傷與退火
6． 2． 6 離子注入摻雜制結(jié)工藝
參考文獻
第7章 硅片表面和邊緣刻蝕
7． 1 干法刻蝕邊緣擴散層
7． 1． 1 等離子體刻蝕
7． 1． 2 激光邊緣刻蝕隔離
7． 2 濕法刻蝕表面磷硅玻璃
7． 3 濕法刻蝕擴散層
7． 3． 1 濕法刻蝕擴散層原理
7． 3． 2 硅片漂浮方式濕法刻蝕
7． 3． 3 滾輪攜液方式的濕法刻蝕
7． 4 硅片周邊表面刻蝕后的質(zhì)量檢查
參考文獻
第8章 減反射膜/鈍化膜制備與激光消融開孔
8． 1 減反射膜的減反射原理
8． 2 氮化硅減反射薄膜
8． 2． 1 氮化硅減反射薄膜沉積方法
8． 2． 2 氮化硅膜的熱處理
8． 2． 3 雙層減反射膜
8． 3 太陽電池的表面鈍化技術(shù)
8． 4 Al2O3減反射/鈍化膜
8． 5 激光消融開孔
參考文獻
第9章 電極的絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)和載流子注入退火
9． 1 電極的絲網(wǎng)印刷
9． 1． 1 絲網(wǎng)印刷金屬漿料的作用
9． 1． 2 絲網(wǎng)印刷用材料、工具和設備
9． 1． 3 電極的絲網(wǎng)印刷工藝
9． 1． 4 金屬柵線電極的高寬比及其測試方法
9． 1． 5 PERC太陽電池的電極設計
9． 1． 6 多主柵（MBB）太陽電池的主柵電極設計及其銀漿用量
9． 1． 7 無網(wǎng)結(jié)網(wǎng)版絲印技術(shù)
9． 2 電極漿料燒結(jié)
9． 2． 1 電極漿料燒結(jié)機理
9． 2． 2 電極漿料燒結(jié)設備及工藝
9． 2． 3 電極漿料燒結(jié)質(zhì)量要求
9． 3 恢復太陽電池效率的載流子注入退火
9． 4 太陽電池質(zhì)量檢測
參考文獻
第10章 高轉(zhuǎn)換效率晶體硅太陽電池
10． 1 硅基異質(zhì)結(jié)（SHJ）太陽電池
10． 2 選擇性發(fā)射極太陽電池
10． 3 淺結(jié)密柵太陽電池
10． 4 鈍化發(fā)射極和背接觸（PERC）太陽電池
10． 5 PERL和PERT結(jié)構(gòu)太陽電池
10． 6 黑硅太陽電池
10． 7 叉指式背接觸(IBC)太陽電池
10． 8 薄氧化層鈍化接觸（TOP-Con）太陽電池
10． 9 金屬穿孔卷繞（MWT）太陽電池
10． 10 雙面太陽電池及組件
10． 10． 1 PERC雙面太陽電池及組件
10． 10． 2 PERT雙面太陽電池及組件
參考文獻
第11章 太陽電池組件
11． 1 太陽電池的串聯(lián)和并聯(lián)
11． 2 太陽電池組件的結(jié)構(gòu)
11． 3 太陽電池組件的封裝材料
11． 4 太陽電池組件的封裝工藝
11． 5 太陽電池組件的電位誘發(fā)衰減（PID）效應
11． 6 半片太陽電池組件
11． 7 疊瓦太陽電池組件
11． 8 雙面玻璃封裝太陽電池組件
11． 9 金屬背板太陽電池組件
11． 10 特種太陽電池組件
11． 11 太陽電池組件的性能測試
參考文獻
第12章 太陽電池及其組件的測試
12． 1 太陽輻射的基本特性
12． 2 太陽模擬器
12． 3 太陽電池測試
12． 3． 1 光電性能測試
12． 3． 2 其他性能測試
12． 4 太陽電池組件測試
12． 4． 1 太陽電池組件的光電性能測試
12． 4． 2 太陽電池組件的設計鑒定和定型
12． 4． 3 太陽電池組件的安全鑒定
12． 4． 4 太陽電池組件的其他試驗
12． 4． 5 太陽電池組件的可靠性測試
12． 5 太陽電池組件的室外測試
12． 6 太陽電池和組件的診斷測試
12． 6． 1 電致發(fā)光(EL)測試
12． 6． 2 光誘導電流(LBIC)測試
12． 6． 3 其他診斷測試方法
12． 6． 4 診斷測試性能分析舉例
12． 7 太陽電池和組件的認證
參考文獻
附錄A 太陽電池的光致衰減現(xiàn)象及桶理論
附錄B 雙面太陽電池/組件的光電性能測試