金屬有機物氣相外延理論與實踐（第2版）

定　價：￥91.00

作　者：	[美] 斯特林費洛（Gerald，B.，Stringfellow）著
出版社：	北京大學(xué)出版社
叢編項：	中外物理學(xué)精品書系
標(biāo)　簽：	化學(xué) 有機化學(xué) 自然科學(xué)

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ISBN：	9787301275177	出版時間：	2016-11-01	包裝：	平裝
開本：	16開	頁數(shù)：	1072	字數(shù)：

內(nèi)容簡介

　　《金屬有機物氣相外延——理論與實踐（第二版）》作為金屬有機物氣相外延（OMVPE或MOCVD）基礎(chǔ)理論和應(yīng)用實踐方面的教學(xué)參考書，適用于材料物理，材料化學(xué)和電子專業(yè)的本科生和研究生。同時也適合作為OMVPE生產(chǎn)和研發(fā)人員的工具書。本書第一章首先總攬了OMVPE的生長過程，并和其他的外延工藝做細致的比較。第二到第六章則分別論述了OMVPE生長的各個方面：熱力學(xué)（第二章），表面物理過程（第三章），反應(yīng)源（第四章），動力學(xué)（第五章）以及流體力學(xué)和質(zhì)量輸運（第六章）。這些論述不但包括基本的模型論述，還包括主要研究進展以及發(fā)展的趨勢，內(nèi)容豐富。第七章討論了OMVPE生長過程的設(shè)計，包括動力學(xué)限制及高溫區(qū)的生長，同時也對整體的OMVPE過程進行設(shè)計。第八章則介紹了諸如GaAs，InP，GaN等特定的材料。第九章介紹了超晶格結(jié)構(gòu)，第十章則對OMVPE生長的器件進行了論述。

作者簡介

暫缺《金屬有機物氣相外延理論與實踐（第2版）》作者簡介

圖書目錄

第一章　OMVPE方法概述…………………………………………………… １
?。保薄∫浴?１
?。保病⊥庋蛹夹g(shù)的比較…………………………………………………………… ２
?。保场MVPE生長過程概述…………………………………………………… ７
　參考文獻………………………………………………………………………… １４
第二章　熱力學(xué)………………………………………………………………… １６
?。玻薄∠嗥胶獾臒崃W(xué)基礎(chǔ)……………………………………………………… １７
?。玻病∠鄨D………………………………………………………………………… ３４
?。玻场⊥庋由L的熱力學(xué)驅(qū)動力………………………………………………… ６０
　２．４　固態(tài)組分………………………………………………………………… ６５
?。玻怠∷脑怠?８１
　２．６　表面熱力學(xué)……………………………………………………………… ８２
　參考文獻………………………………………………………………………… ８９
第三章　表面物理過程………………………………………………………… ９９
?。常薄∫浴?９９
　３．２　表面測量技術(shù)…………………………………………………………… １００
?。常场”砻嫣匦缘闹苯佑^測…………………………………………………… １０５
　３．４　原子級生長過程………………………………………………………… １０８
?。常怠”砻孢^程對OMVPE生長的影響……………………………………… １２２
　參考文獻………………………………………………………………………… １２６
第四章　源物質(zhì)………………………………………………………………… １３１
　４．１　引言……………………………………………………………………… １３１
?。矗病I族源…………………………………………………………………… １４０
?。矗场II族有機源…………………………………………………………… １４１
?。矗础 族有機源……………………………………………………………… １４７
　４．５　VI族源…………………………………………………………………… １６８
?。矗丁〗饘儆袡C摻雜源………………………………………………………… １７３
　參考文獻………………………………………………………………………… １７５
第五章　動力學(xué)………………………………………………………………… １８６
　５．１　背景……………………………………………………………………… １８６
?。担病MVPE生長過程……………………………………………………… １９４
?。担场蜗酂峤夥磻?yīng)…………………………………………………………… １９７
?。担础《嘞酂峤夥磻?yīng)…………………………………………………………… ２４０
　５．５　有序……………………………………………………………………… ２４６
　參考文獻……………………………………………………………………… ２５２
第六章　流體力學(xué)與質(zhì)量輸運……………………………………………… ２６２
?。叮薄∫浴?２６２
?。叮病MVPE的完全流體力學(xué)處理………………………………………… ２６３
?。叮场∵吔鐚幽Ｐ汀?２７１
　６．４　臥式OMVPE反應(yīng)室近似分析方法…………………………………… ２７２
?。叮怠》磻?yīng)室設(shè)計應(yīng)用………………………………………………………… ２７６
　參考文獻……………………………………………………………………… ２７７
第七章　OMVPE生長過程設(shè)計…………………………………………… ２７９
?。罚薄MVPE生長的綜合模型……………………………………………… ２７９
　７．２　動力學(xué)限制的生長……………………………………………………… ２８２
?。罚场≈械葴囟认滤袣鈮悍秶鷥?nèi)的生長過程……………………………… ３０１
?。罚础「邷貐^(qū)…………………………………………………………………… ３０６
?。罚怠I/VI族化合物的OMVPE生長……………………………………… ３０７
　７．６　總體工藝過程設(shè)計……………………………………………………… ３１５
　參考文獻………………………………………………………………………… ３３１
第八章　OMVPE生長的材料……………………………………………… ３４０
?。福薄aAs……………………………………………………………………… ３４０
　８．２　AlGaAs ………………………………………………………………… ３５２
?。福场aInAs,AlInAs和AlGaInAs ………………………………………… ３６０
?。福础nP ……………………………………………………………………… ３６４
?。福怠aP,GaInP,AlGaInP …………………………………………………… ３７０
?。福丁s/P合金………………………………………………………………… ３７５
?。福贰′R化物及其合金………………………………………………………… ３８０
?。福浮II/V 族氮化物,AlGaInN ……………………………………………… ３９１
　８．９　III/V 族半導(dǎo)體的選區(qū)生長……………………………………………… ３９８
?。福保啊I/VI族半導(dǎo)體………………………………………………………… ３９９
?。福保薄V 族半導(dǎo)體…………………………………………………………… ４０４
２金屬有機物氣相外延(第二版)
?。福保病》前雽?dǎo)體材料…………………………………………………………… ４０５
　參考文獻………………………………………………………………………… ４０８
第九章　超晶格………………………………………………………………… ４２６
?。梗薄lGaAs/GaAs…………………………………………………………… ４２９
?。梗病aInAs/InP ……………………………………………………………… ４３４
?。梗场lGaInP/GaInP ………………………………………………………… ４３８
?。梗础aInAs/GaAs …………………………………………………………… ４４０
?。梗怠lGaInN ………………………………………………………………… ４４３
　９．６　應(yīng)變層超晶格…………………………………………………………… ４４４
?。梗贰i襯底上的GaAs ……………………………………………………… ４４５
　９．８　SiGe合金………………………………………………………………… ４４６
?。梗埂I/VI化合物……………………………………………………………… ４４７
?。梗保啊诫s超晶格……………………………………………………………… ４４９
　９．１１　原子層外延(ALE)……………………………………………………… ４５０
　參考文獻………………………………………………………………………… ４５４
第十章　器件…………………………………………………………………… ４６２
?。保埃薄∽⑷胧郊す馄骱蚅ED ………………………………………………… ４６３
?。保埃病」怆姸O管……………………………………………………………… ４７９
?。保埃场‰娮娱_關(guān)器件…………………………………………………………… ４８１
?。保埃础√柲茈姵亍?４８６
?。保埃怠】偨Y(jié)……………………………………………………………………… ４８８
　參考文獻………………………………………………………………………… ４８８
文中縮略語……………………………………………………………………… ４９７
金屬有機源分子符號………………………………………………………… ５００
索引……………………………………………………………………………… ５０２