金屬有機(jī)物氣相外延理論與實(shí)踐（第2版）

定　價(jià)：￥91.00

作　者：	[美] 斯特林費(fèi)洛（Gerald，B.，Stringfellow）著
出版社：	北京大學(xué)出版社
叢編項(xiàng)：	中外物理學(xué)精品書系
標(biāo)　簽：	化學(xué) 有機(jī)化學(xué) 自然科學(xué)

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ISBN：	9787301275177	出版時(shí)間：	2016-11-01	包裝：	平裝
開本：	16開	頁(yè)數(shù)：	1072	字?jǐn)?shù)：

內(nèi)容簡(jiǎn)介

　　《金屬有機(jī)物氣相外延——理論與實(shí)踐（第二版）》作為金屬有機(jī)物氣相外延（OMVPE或MOCVD）基礎(chǔ)理論和應(yīng)用實(shí)踐方面的教學(xué)參考書，適用于材料物理，材料化學(xué)和電子專業(yè)的本科生和研究生。同時(shí)也適合作為OMVPE生產(chǎn)和研發(fā)人員的工具書。本書第一章首先總攬了OMVPE的生長(zhǎng)過程，并和其他的外延工藝做細(xì)致的比較。第二到第六章則分別論述了OMVPE生長(zhǎng)的各個(gè)方面：熱力學(xué)（第二章），表面物理過程（第三章），反應(yīng)源（第四章），動(dòng)力學(xué)（第五章）以及流體力學(xué)和質(zhì)量輸運(yùn)（第六章）。這些論述不但包括基本的模型論述，還包括主要研究進(jìn)展以及發(fā)展的趨勢(shì)，內(nèi)容豐富。第七章討論了OMVPE生長(zhǎng)過程的設(shè)計(jì)，包括動(dòng)力學(xué)限制及高溫區(qū)的生長(zhǎng)，同時(shí)也對(duì)整體的OMVPE過程進(jìn)行設(shè)計(jì)。第八章則介紹了諸如GaAs，InP，GaN等特定的材料。第九章介紹了超晶格結(jié)構(gòu)，第十章則對(duì)OMVPE生長(zhǎng)的器件進(jìn)行了論述。

作者簡(jiǎn)介

暫缺《金屬有機(jī)物氣相外延理論與實(shí)踐（第2版）》作者簡(jiǎn)介

圖書目錄

第一章　OMVPE方法概述…………………………………………………… １
?。保薄∫浴?１
　１．２　外延技術(shù)的比較…………………………………………………………… ２
?。保场MVPE生長(zhǎng)過程概述…………………………………………………… ７
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… １４
第二章　熱力學(xué)………………………………………………………………… １６
　２．１　相平衡的熱力學(xué)基礎(chǔ)……………………………………………………… １７
?。玻病∠鄨D………………………………………………………………………… ３４
?。玻场⊥庋由L(zhǎng)的熱力學(xué)驅(qū)動(dòng)力………………………………………………… ６０
?。玻础」虘B(tài)組分………………………………………………………………… ６５
?。玻怠∷脑怠?８１
　２．６　表面熱力學(xué)……………………………………………………………… ８２
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… ８９
第三章　表面物理過程………………………………………………………… ９９
?。常薄∫浴?９９
　３．２　表面測(cè)量技術(shù)…………………………………………………………… １００
?。常场”砻嫣匦缘闹苯佑^測(cè)…………………………………………………… １０５
?。常础≡蛹?jí)生長(zhǎng)過程………………………………………………………… １０８
?。常怠”砻孢^程對(duì)OMVPE生長(zhǎng)的影響……………………………………… １２２
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… １２６
第四章　源物質(zhì)………………………………………………………………… １３１
?。矗薄∫浴?１３１
?。矗病I族源…………………………………………………………………… １４０
?。矗场II族有機(jī)源…………………………………………………………… １４１
?。矗础 族有機(jī)源……………………………………………………………… １４７
　４．５　VI族源…………………………………………………………………… １６８
?。矗丁〗饘儆袡C(jī)摻雜源………………………………………………………… １７３
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… １７５
第五章　動(dòng)力學(xué)………………………………………………………………… １８６
　５．１　背景……………………………………………………………………… １８６
?。担病MVPE生長(zhǎng)過程……………………………………………………… １９４
?。担场蜗酂峤夥磻?yīng)…………………………………………………………… １９７
　５．４　多相熱解反應(yīng)…………………………………………………………… ２４０
?。担怠∮行颉?２４６
　參考文獻(xiàn)……………………………………………………………………… ２５２
第六章　流體力學(xué)與質(zhì)量輸運(yùn)……………………………………………… ２６２
?。叮薄∫浴?２６２
　６．２　OMVPE的完全流體力學(xué)處理………………………………………… ２６３
?。叮场∵吔鐚幽Ｐ汀?２７１
?。叮础∨P式OMVPE反應(yīng)室近似分析方法…………………………………… ２７２
　６．５　反應(yīng)室設(shè)計(jì)應(yīng)用………………………………………………………… ２７６
　參考文獻(xiàn)……………………………………………………………………… ２７７
第七章　OMVPE生長(zhǎng)過程設(shè)計(jì)…………………………………………… ２７９
?。罚薄MVPE生長(zhǎng)的綜合模型……………………………………………… ２７９
?。罚病?dòng)力學(xué)限制的生長(zhǎng)……………………………………………………… ２８２
　７．３　中等溫度下所有氣壓范圍內(nèi)的生長(zhǎng)過程……………………………… ３０１
?。罚础「邷貐^(qū)…………………………………………………………………… ３０６
?。罚怠I/VI族化合物的OMVPE生長(zhǎng)……………………………………… ３０７
　７．６　總體工藝過程設(shè)計(jì)……………………………………………………… ３１５
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… ３３１
第八章　OMVPE生長(zhǎng)的材料……………………………………………… ３４０
?。福薄aAs……………………………………………………………………… ３４０
?。福病lGaAs ………………………………………………………………… ３５２
?。福场aInAs,AlInAs和AlGaInAs ………………………………………… ３６０
?。福础nP ……………………………………………………………………… ３６４
?。福怠aP,GaInP,AlGaInP …………………………………………………… ３７０
?。福丁s/P合金………………………………………………………………… ３７５
　８．７　銻化物及其合金………………………………………………………… ３８０
?。福浮II/V 族氮化物,AlGaInN ……………………………………………… ３９１
　８．９　III/V 族半導(dǎo)體的選區(qū)生長(zhǎng)……………………………………………… ３９８
?。福保啊I/VI族半導(dǎo)體………………………………………………………… ３９９
?。福保薄V 族半導(dǎo)體…………………………………………………………… ４０４
２金屬有機(jī)物氣相外延(第二版)
?。福保病》前雽?dǎo)體材料…………………………………………………………… ４０５
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… ４０８
第九章　超晶格………………………………………………………………… ４２６
?。梗薄lGaAs/GaAs…………………………………………………………… ４２９
?。梗病aInAs/InP ……………………………………………………………… ４３４
　９．３　AlGaInP/GaInP ………………………………………………………… ４３８
?。梗础aInAs/GaAs …………………………………………………………… ４４０
　９．５　AlGaInN ………………………………………………………………… ４４３
?。梗丁?yīng)變層超晶格…………………………………………………………… ４４４
　９．７　Si襯底上的GaAs ……………………………………………………… ４４５
?。梗浮iGe合金………………………………………………………………… ４４６
?。梗埂I/VI化合物……………………………………………………………… ４４７
　９．１０　摻雜超晶格……………………………………………………………… ４４９
?。梗保薄≡訉油庋?ALE)……………………………………………………… ４５０
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… ４５４
第十章　器件…………………………………………………………………… ４６２
?。保埃薄∽⑷胧郊す馄骱蚅ED ………………………………………………… ４６３
　１０．２　光電二極管……………………………………………………………… ４７９
?。保埃场‰娮娱_關(guān)器件…………………………………………………………… ４８１
?。保埃础√?yáng)能電池……………………………………………………………… ４８６
　１０．５　總結(jié)……………………………………………………………………… ４８８
　參考文獻(xiàn)………………………………………………………………………… ４８８
文中縮略語(yǔ)……………………………………………………………………… ４９７
金屬有機(jī)源分子符號(hào)………………………………………………………… ５００
索引……………………………………………………………………………… ５０２