微制造與納米技術

譯叢序言
譯者的話
前言
第1章導論
11背景介紹
12概述
121精密工程
122微銑削和微型鉆孔
13微機電系統(tǒng)
14微電子制造方法
141體微加工
142表面微加工
15微型化儀器
16微機械電子
17納米修整
18光變圖像
19微能源和化學系統(tǒng)
110空間微推進
111電子束納米印刷
112納米技術
113碳納米管及其結構
114分子邏輯門
115納米尺度生物傳感器
116C60及其衍生物的化學
交聯(lián)
117燃料電池
118參考文獻
第2章微機電系統(tǒng)與微光機電
系統(tǒng)原理21概述
22執(zhí)行器的驅動原理
23制造工藝
24機械微機電系統(tǒng)
241機械傳感器
242加速度計、懸臂式
傳感器和電容測量
243揚聲器
244陀螺儀
245機械執(zhí)行器
25熱微機電系統(tǒng)
251計溫學
252數(shù)據(jù)存儲應用
253微型加熱器氣體
傳感器
254熱執(zhí)行器
26磁微機電系統(tǒng)
27微光機電系統(tǒng)
28空間光調制器
29數(shù)字微鏡設備
210光柵光閥（GLV）
211參考文獻
第3章微制造中的激光技術
31概述
32激光的產生
33激光的特性
331單色性
332方向性
333亮度
334相干性
335空間分布
336時間脈沖波形
34激光應用
35微加工中的激光技術
微制造與納米技術目錄351背景
352激光的吸收和反射
353應用技術基礎
36參考文獻
第4章激光干涉儀幾何誤差
軟補償41概述
42幾何誤差校正概述
421誤差測量系統(tǒng)
422精度評價
43幾何誤差補償方法
431幾何誤差查找表
432幾何誤差參數(shù)模型
44實驗結果
441誤差近似
442線性誤差
443直線度誤差
444角度誤差
445垂直度誤差
446評價
45小結
46參考文獻
第5章體微加工中的蝕刻工藝
表征51概述
52體微加工的發(fā)展歷史
53濕法體微加工（WBM）
54晶體學及其影響
55硅作為基板與結構材料
551硅作為基板
552硅作為結構材料
553應力與應變
554硅的熱力學性質
56濕法蝕刻流程
561各向同性蝕刻劑
562反應現(xiàn)象
563各向同性蝕刻曲線
564掩膜
565依賴型摻雜蝕刻劑
57各向異性蝕刻
571各向異性蝕刻劑
572各向異性蝕刻劑
掩膜
58蝕刻控制：停止技術
581硼擴散蝕刻停止
582電化學蝕刻自停止
技術
583薄膜與絕緣硅蝕刻
停止
59體微加工中蝕刻存在的
問題
591基板面消耗
592角補償
510小結
511參考文獻
第6章表面微加工和晶片粘合
工藝的特點61概述
62光刻工藝
63表面微加工
64表面微加工工藝特點
641隔離層
642犧牲層
643結構材料
644選擇性蝕刻
65特性
651附著力
652應力
653黏滯
66晶片鍵合
661陽極鍵合
662融化鍵合
67小結
68參考文獻
第7章文件安全領域微加工：
光變圖像71引言
72概述
73光變圖像箔微結構
731防偽全息圖
732KinegramTm技術
733CatpixTm電子束光刻微
結構
734結構穩(wěn)定性
735PixelgramTM調色
概念
736基于ExelgramTM軌道
的光變圖像微結構
737隱蔽圖片顯微圖像
安全特征
738KinegramTM和ExelgramTM
的比較
739VectogramTM圖像多路
復用技術
7310間隙刻槽單元
調制
74通用的光變圖像微結構
741光變油墨技術
742衍射數(shù)據(jù)箔
743生物識別光變圖像
技術
75光學圖像單元編碼表面納米
制造
751微鏡光變圖像
752微鏡光變圖像的
起源
753微鏡光變圖像光學效應
總結
76小結
77參考文獻
第8章納米修整技術
81概述
82傳統(tǒng)加工工藝
821研磨
822拋光
823珩磨
83高級修整工藝（AFPs）
831磨料流加工
（AFM）
832磁力研磨（MAF）
833磁流變加工
（MRF）
834磁流變磨料流修整
（MRAFF）
835磁懸浮拋光
（MFP）
836彈性噴射加工
（EEM）
837離子束加工
（IBM）
838化學機械拋光
（CMP)
84參考文獻
第9章微納米技術在空間微推進
系統(tǒng)中的應用91概述
92微型化航天器微推動的子
系統(tǒng)和設備
93推進系統(tǒng)
931固體推進劑
932冷氣體
933膠體推進器
934熱氣體
935單組元和雙組元推進
系統(tǒng)
936再生加壓循環(huán)
937姿態(tài)調整與控制
系統(tǒng)
94冷氣體微推進器的實現(xiàn)
941氣體和流體動力學
942原型設計
95小結
96參考文獻
第10章碳納米管的制造和應用：
納米技術基礎101概述
102納米技術和碳納米管
的前景
103碳納米管的研究進展
104碳納米管的結構
和屬性
105碳納米管的制備
1051化學氣相沉積
1052電弧放電
1053激光燒蝕
1054生長機理
1055碳納米管提純
106碳納米管的應用
1061場效應管中碳納米管
的電子輸運
1062在計算機中的
應用
1063基于碳納米管的納米
器件在生物醫(yī)學中的
應用
1064X射線儀
1065基于碳納米管的納米
機械執(zhí)行器和人工
肌肉
1066燃料電池
1067膜電極組
1068基于CNTs的雙極板
機械和電氣強化
1069在碳納米管中
儲氫
107參考文獻
第11章碳基納米結構
111概述
112富勒烯的歷史
113碳納米管的結構
（CNTs）
1131Y形
1132雙螺旋形
1133竹節(jié)形
1134分層結構
1135環(huán)形多壁碳
納米管
1136圓錐端帽形多壁碳納
米管
114富勒烯的結構
1141C48富勒烯結構
1142環(huán)形富勒烯
1143C60、C59、C58、C57
的結構
1144較小的富勒烯C50
115碳納米球（CNBs）的
結構
116碳納米纖維（CNFs）的
結構
1161六邊形碳納米
纖維
1162錐形碳納米纖維
1163螺旋形碳納米
纖維
117多孔碳
118碳納米結構的性質
1181分子性質
1182電子性質
1183光學性質
1184力學性能
1185周期性
119合成
1191碳納米管
1192富勒烯
1193碳納米球
1194碳納米纖維
1110碳納米結構的應用
前景
11101能量存儲
11102儲氫
11103嵌鋰
11104電化學超級電容
11105碳納米管的分子電
子學
1111復合材料
1112小結
1113參考文獻
第12章分子邏輯門
121概述
122邏輯門
123熒光分子邏輯電路
124組合邏輯電路
125可重構分子邏輯
126基于分子邏輯門
的吸收
127分子邏輯門：導電
128小結
129參考文獻
第13章用于生物傳感器的納米
力學懸臂裝置131概述
132原理
133靜態(tài)變形法
134共振模式法
135熱檢測法
136微型品制造
1361硅基懸臂
1362壓阻式集成懸臂
1363壓電式集成懸臂
137測量和輸出技術
1371光學法
1372干涉測量法
1373壓阻法
1374電容法
1375壓電法
138生物傳感
1381DNA探測
1382蛋白質檢測
1383細胞檢測
ⅩⅧ微制造與納米技術目錄ⅩⅦ139小結
1310參考文獻
第14章微型能源和化學系統(tǒng)
（MECS）和多尺
度制造141概述
142微能源和化學系統(tǒng)
（MECS）
1421MECS器件的物質與
熱量傳遞
1422MECS技術的
應用
143MECS制造
1431困難與挑戰(zhàn)
1432特征尺寸
1433微層壓技術
144微層壓技術的尺寸
控制
1441圖形化對微通道陣列
性能的影響
1442理論
1443微通道加工
1444試驗結果
145微通道陣列中的
翹曲源
1451分析
1452試驗結果
146配準與粘接對微通道陣列
性能的影響
147微通道陣列的幾何
約束
148微層壓技術的經(jīng)濟
價值
149參考文獻
第15章雕塑薄膜
151概述
152雕塑薄膜的生長
1521實驗和現(xiàn)象
1522計算機模擬
153光學特性
1531理論
1532特征行為
154應用
1541光學
1542化學
1543電學
1544生物學
155小結
156參考文獻
第16章電子束蝕刻技術與納米裝
配——精密化學
工程161概述
162電子束輻射
1621聚合物材料
1622分子材料
163自組裝單層膜
164結語和展望
165參考文獻
第17章倏逝近場納米光刻
技術171概述
172發(fā)展歷史
173ENFOL技術原理
174掩膜的制作和要求
175圖案形成
1751曝光條件
1752光刻膠要求
1753克服衍射極限
176圖案轉移
1761減法圖案轉移
1762加法圖案轉移
177模擬
1771模擬方法和模型
1772強度分布
1773場深度（DOF）
1774邊界強化帶來的曝光
差異
178表面等離子體納米
光刻
1781倏逝干涉光刻技術
（EIL）
1782平面透鏡光刻技術
（PLL）
1783表面等離子體增
強接觸式光刻
（SPECL）
179小結
1710參考文獻
第18章納米技術在燃料電池上
的應用181現(xiàn)狀與需求
182多相催化中的納米
粒子
183碳載體鉑催化劑的氧化
電解還原反應
184碳納米管載體催化劑
185小結
186參考文獻
第19章碳納米管與胺衍生：一種
無溶劑技術191概述
192實驗設計
193氧化單壁碳納米管管
端羧基功能團的直
接酰胺化
194原始多壁碳納米管端帽和
壁缺陷直接胺加成
195小結
196參考文獻
第20章C60薄膜中化學交聯(lián)
201概述
202實驗
ⅩⅩ微制造與納米技術目錄ⅩⅨ2021分析儀器
2022富勒烯薄膜沉積
2023與(1,8)辛二胺
反應
203結果與討論
2031(1,8)辛二胺衍生C60
粉末
2032(1,8)辛二胺衍生
C60薄膜
204小結
205參考文獻