金屬-半導(dǎo)體界面歐姆接觸的原理、測試與工藝

定　價(jià)：￥1.05

ISBN：	9787313004642	出版時(shí)間：	1989-01-01	包裝：
開本：	19cm	頁數(shù)：	216頁	字?jǐn)?shù)：

　　本書較詳盡的敘述了集成電路中歐姆接觸的形成原理，測量方法和制造工藝、分析了歐姆接觸在形成和使用過程中發(fā)生的界面冶金反應(yīng)及其對接觸電阻的影響等。

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金屬-半導(dǎo)體界面歐姆接觸的原理、測試與工藝