李哲洋，博士，研究員，現(xiàn)任懷柔實驗室北京智慧能源研究院功率半導體研究所碳化硅外延材料資深技術專家。畢業(yè)于南京大學物理學院，獲微電子與固體電子學博士學位，主要研究方向為第三代半導體材料與器件。曾就職于中國電子科技集團公司第五十五研究所、瀚天天成電子科技（廈門）有限公司和南京大學，是我國最早從事第三代半導體材料及器件研究的科研人員之一。主編·作者名單主 編岡崎信次Gigaphoton株式會社原技術顧問作 者（按照撰寫順序）岡崎信次Gigaphoton株式會社原技術顧問林直也日本印刷株式會社精密光電子事業(yè)部研究員石原直東京大學工學系研究科首席研究員溝口計Gigaphoton株式會社執(zhí)行副社長/CTO/研究部長齋藤隆志Gigaphoton株式會社EUV開發(fā)部常務執(zhí)行董事EUV開發(fā)部長山崎卓Gigaphoton株式會社EUV開發(fā)部副部長笑喜勉HOYA株式會社掩膜事業(yè)部第2技術開發(fā)部主任小寺豐凸版印刷株式會社綜合研究所科長森本修佳能株式會社光學器材事業(yè)本部半導體器材第三PLM中心半導體器材NGL24設計室室長法元盛久日本印刷株式會社研究開發(fā)中心主干研究員山田章夫Advantest株式會社納米技術事業(yè)本部中山田憲昭Nu Flare Technology株式會社描畫裝置技術部參事山下浩Nu Flare Technology株式會社描畫裝置技術部光束控制技術組參事永原誠司東京電子株式會社CTSPS BU 高級經理/首席科學家上野巧信州大學光纖創(chuàng)新技術孵化中心特聘教授鳥海實境界科技研究所所長野尻一男Lam Research株式會社執(zhí)行董事/研究員杉本有俊日立株式會社高科技電子器件系統(tǒng)事業(yè)統(tǒng)括本部公司顧問白崎博公玉川大學名譽教授大田昌弘島津制作所株式會社分析測量事業(yè)部X射線表面測量事業(yè)部產品經理伊藤義泰Rigaku X射線研究所株式會社主任技師江刺正喜日本東北大學微系統(tǒng)融合研究開發(fā)中心主任/教授戶津健太郎日本東北大學微系統(tǒng)融合研究開發(fā)中心副教授鈴木裕輝夫日本東北大學微系統(tǒng)融合研究開發(fā)中心助手小島明日本東北大學微系統(tǒng)融合研究開發(fā)中心研究員池上尚克日本東北大學微系統(tǒng)融合研究開發(fā)中心研究員宮口裕日本東北大學微系統(tǒng)融合研究開發(fā)中心研究員越田信義東京農工大學研究生院工學部特聘教授寒川誠二日本東北大學流體科學研究所/原子分子材料高等研究所教授
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