高數(shù)值孔徑投影光刻物鏡的光學設計

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作　者：	暫缺
出版社：	東北林業(yè)大學出版社
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ISBN：	9787567417892	出版時間：	2019-05-01	包裝：	平裝
開本：	16開	頁數(shù)：	125	字數(shù)：

內(nèi)容簡介

　　《高數(shù)值孔徑投影光刻物鏡的光學設計》共五章。第一章介紹了研究的緣起、意義及國內(nèi)外研究現(xiàn)狀。第二章主要針對高數(shù)值孔徑投影光刻物鏡的光學設計及其相關內(nèi)容進行討論，主要包括：投影光刻物鏡的像質(zhì)評價與基本設計指標、光學設計初始輸入條件、高數(shù)值孔徑投影光刻物鏡的結(jié)構(gòu)形式與設計結(jié)果分析、波像差自動平衡算法。第三章主要對高數(shù)值孔徑投影光刻物鏡的偏振像差研究，包括標量成像與矢量成像、偏振照明與偏振像差、瓊斯光瞳奇異值分解。第四章針對高數(shù)值孔徑投影光刻物鏡的像質(zhì)補償策略進行研究，包括一維公差和二維公差。第五章對高數(shù)值孔徑投影光刻物鏡的光學設計及其相關內(nèi)容做了總結(jié)與展望。