新型諧振式傳感器優(yōu)化設(shè)計及應用

定　價：￥88.00

作　者：	何高法，孟杰
出版社：	重慶大學出版社
叢編項：
標　簽：	暫缺

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ISBN：	9787568919104	出版時間：	2020-04-01	包裝：	平裝
開本：	16開	頁數(shù)：	203	字數(shù)：

內(nèi)容簡介

　　《新型諧振式傳感器優(yōu)化設(shè)計及應用》共6章，重點介紹了諧振式傳感器的發(fā)展現(xiàn)狀、基本工作原理和設(shè)計方法；分析了其理論基礎(chǔ)和敏感元件特性；對梁式和板式諧振子的振動特性進行了理論和有限元分析。針對靜電激勵和電容檢測式諧振器給出了一種檢測和激勵電路設(shè)計方法，并對所設(shè)計的電路進行了實驗驗證。應用諧振原理設(shè)計了諧振式微加速度計，并進行了工藝分析。最后，討論了利用諧振檢測原理實現(xiàn)的掃描靜電力顯微鏡并將其應用于試件表面微觀形貌測量?！缎滦椭C振式傳感器優(yōu)化設(shè)計及應用》可作為從事機械、電子和測控等領(lǐng)域的工程研究人員設(shè)計和研究傳感器的參考資料，也可作為機械、電子和測控等專業(yè)的研究生和高年級本科生課外閱讀材料。

作者簡介

　　何高法（1972年11-），教授，博士，碩士研究生導師，現(xiàn)任重慶科技學院機械與動力工程學院副院長，重慶市實驗教學示范中心機械工程實驗與實訓教學中心主任，重慶市專業(yè)“機械設(shè)計制造及其自動化”專業(yè)負責人、重慶高校金工教學研究會理事長、教育部工程教育專業(yè)認證專家。長期從事機械制造和精密測量等領(lǐng)域的教學和科研工作，研究方向為納米測量、微機械電子技術(shù)、智能制造。孟杰（1981年1月-），博士，教授，碩士研究生導師，重慶科技學院機械與動力工程學院教師。2003年6月畢業(yè)于重慶大學機械設(shè)計制造及其自動化專業(yè)．2008年6月獲得重慶大學機械設(shè)計及理論博士學位，2013年美國普渡大學訪問學者．2018年加拿大康考迪亞大學訪問學者。長期從事機械制造和高速加工等領(lǐng)域的教學和科研工作，研究方向為高速加工技術(shù)、智能制造、先進制造技術(shù)。

圖書目錄

第1章概述
1．1 諧振式傳感器的發(fā)展、特點及類型
1．1．1 諧振式傳感器的發(fā)展
1．1．2 諧振式傳感器的特點
1．1．3 諧振式傳感器的類型
1．2 諧振式傳感器的設(shè)計方法
1．2．1 諧振式傳感器的設(shè)計基礎(chǔ)
1．2．2 諧振式傳感器的建模方法概述
1．2．3 諧振式傳感器的設(shè)計步驟
第2章諧振式傳感器的基礎(chǔ)理論
2．1 諧振式傳感器工作原理
2．1．1 諧振原理
2．1．2 諧振式傳感器測量系統(tǒng)
2．2 敏感元件的諧振特性分析
2．2．1 諧振及其阻尼特性分析
2．2．2 諧振狀態(tài)下的動力學特性
2．2．3 諧振狀態(tài)下的能量關(guān)系
2．3 諧振敏感元件的類型
2．3．1 振弦式敏感元件
2．3．2 振筒式敏感元件
2．3．3 振梁式敏感元件
2．3．4 振膜式敏感元件
2．3．5 石英晶體敏感元件
第3章諧振子結(jié)構(gòu)設(shè)計和優(yōu)化方法
3．1 梁式諧振子的設(shè)計分析
3．1．1 彈性梁的振動方程
3．1．2 軸向力作用下梁的橫向彎曲振動
3．1．3 雙端固定邊界條件下軸向力對梁固有頻率的影響
3．1．4 梁橫向彎曲振動的Rayleigh-Ritz法求解
3．1．5 附有集中質(zhì)量的雙端固定梁
3．1．6 軸向力對附有集中質(zhì)量梁的影響
3．2 板（膜）式諧振子的設(shè)計分析
3．2．1 矩形薄板的橫向振動
3．2．2 圓形薄板的自由振動
3．3 諧振子結(jié)構(gòu)的有限元分析方法
3．3．1 有限元分析方法介紹
3．3．2 梁式諧振子的有限元分析
3．3．3 帶梳齒結(jié)構(gòu)音叉諧振子預應力模態(tài)的有限元分析
3．3．4 石英晶體（板式）諧振子的有限元分析
第4章諧振式傳感器驅(qū)動和檢測電路設(shè)計
4．1 諧振元件的驅(qū)動和檢測方法分析
4．1．1 驅(qū)動方式分析
4．1．2 諧振頻率檢測方法
4．2 驅(qū)動和檢測電路原理
4．3 鎖相環(huán)驅(qū)動電路設(shè)計和調(diào)試
4．3．1 鎖相環(huán)電路設(shè)計
4．3．2 解鎖電路
4．3．3 驅(qū)動信號發(fā)生電路
4．3．4 鎖相環(huán)電路調(diào)試
4．4 頻率檢測及C／V轉(zhuǎn)換
4．4．1 頻率檢測原理
4．4．2 C／v轉(zhuǎn)換電路的設(shè)計
4．5 自動增益控制電路
4．5．1 自動控制增益電路設(shè)計
4．5．2 AGC增益的分配及計算
4．5．3 AGC起控點、飽和點的選取和計算
4．5．4 AGC控制電路調(diào)試
4．6 帶通濾波及移相電路
4．6．1 MAX274帶通濾波
4．6．2 移相電路
4．6．3 移相電路調(diào)試
第5章諧振式微加速度計
5．1 諧振式微加速度計概述及測量原理
5．1．1 微加速度計概述
5．1．2 諧振式微加速度計的發(fā)展現(xiàn)狀
5．1．3 諧振式微加速度計的測量原理
5．2 基于柔性微杠桿機構(gòu)的加速度計結(jié)構(gòu)設(shè)計
5．2．1 柔性機構(gòu)概述
5．2．2 柔性微杠桿機構(gòu)分析
5．2．3 兩級柔性微杠桿機構(gòu)研究
5．2．4 基于柔性微杠桿機構(gòu)的加速度計結(jié)構(gòu)設(shè)計
5．3 梳齒結(jié)構(gòu)阻尼特性研究
5．3．1 微機械系統(tǒng)空氣阻尼模型
5．3．2 滑膜氣體阻尼分析
5．3．3 壓膜氣體阻尼分析
5．3．4 梳齒式諧振器結(jié)構(gòu)
5．4 微加速度計的制作工藝
5．4．1 關(guān)鍵工藝技術(shù)
5．4．2 工藝流程設(shè)計
5．4．3 版圖設(shè)計
第6章基于音叉諧振器的靜電力顯微鏡
6．1 掃描探針顯微鏡的類型和工作原理
6．1．1 掃描探針顯微鏡概述
6．1．2 掃描隧道顯微鏡的工作原理
6．1．3 原子力顯微鏡工作原理
6．1．4 靜電力顯微鏡工作原理
6．2 音叉諧振探針單元
6．2．1 石英音叉諧振器及其諧振特性
6．2．2 基于石英音叉諧振器的探針單元
6．3 探針受力分析
6．3．1 導體試件與探針之間的靜電力
6．3．2 絕緣體試件與探針之間靜電力理論分析
6．3．3 絕緣體試件與探針之間靜電力的有限元仿真
6．4 靜電力掃描顯微鏡設(shè)計
6．4．1 測量原理
6．4．2 探針頻率變化量
6．4．3 掃描測量系統(tǒng)搭建
6．5 靜電力掃描探針顯微測量實驗
6．5．1 靜電力檢測實驗
6．5．2 試件掃描測量實驗
參考文獻