金剛石涂層工具制備及其應(yīng)用

《21世紀(jì)先進(jìn)制造技術(shù)叢書》序
前言
第一章 緒論
1.1 金剛石薄膜在硬質(zhì)合金工具制備中的應(yīng)用
1.1.1 金剛石材料在刀具制備中的應(yīng)用
1.1.2 CVD金剛石薄膜在硬質(zhì)合金刀具制備中的應(yīng)用.
1.1.3 CVD金剛石薄膜在拉拔模具制備中的應(yīng)用
1.1.4 CVD金剛石薄膜在耐磨器件制備中的應(yīng)用
1.2 本書總體思路
第二章 熱絲CVD金剛石薄膜的制備原理及方法
2.1 金剛石薄膜制備原理
2.2 影響金剛石薄膜質(zhì)量的各種主要因素
2.2.1 襯底材料
2.2.2 襯底預(yù)處理
2.2.3 襯底表面溫度
2.2.4 碳源濃度
2.2.5 反應(yīng)壓力
2.3 熱絲CVD微米金剛石薄膜制備及其性能表征
2.3.1 襯底預(yù)處理
2.3.2 碳源濃度對(duì)金剛石薄膜質(zhì)量的影響
2.3.3 襯底表面溫度對(duì)金剛石薄膜質(zhì)量的影響
2.3.4 反應(yīng)壓力對(duì)金剛石薄膜質(zhì)量的影響
2.4 熱絲CVD納米金剛石薄膜制備及其性能表征
2.4.1 制備方法
2.4.2 襯底預(yù)處理
2.4.3 Ar濃度對(duì)納米金剛石薄膜質(zhì)量的影響
2.4.4 襯底表面溫度對(duì)納米金剛石薄膜質(zhì)量的影響
2.4.5 反應(yīng)壓力對(duì)納米金剛石薄膜質(zhì)量的影響
2.4.6 優(yōu)化條件下納米金剛石薄膜表面質(zhì)量
2.5 熱絲CVD金剛石薄膜的性能表征
2.5.1 薄膜附著力
2.5.2 薄膜成分
2.5.3 薄膜摩擦性能
2.5.4 薄膜其他性能
第三章 熱絲CVD金剛石薄膜涂層刀具的制備及應(yīng)用
3.1 引言
3.2 熱絲CVD金剛石薄膜涂層刀片的制備及應(yīng)用
3.2.1 熱絲CVD金剛石薄膜涂層刀片的制備裝置
3.2.2 熱絲CVD金剛石薄膜涂層刀片的制備工藝及切削性能試驗(yàn)
3.2.3 熱絲CVD金剛石薄膜涂層刀片的應(yīng)用
3.3 熱絲CVD金剛石薄膜涂層大尺寸整體式硬質(zhì)合金刀具的制備及應(yīng)用
3.3.1 熱絲CVD金剮石薄膜涂層大尺寸整體式硬質(zhì)合金刀具的制備裝置
3.3.2 熱絲CVD金剮石薄膜涂層大尺寸整體式硬質(zhì)合金刀具的制備工藝
3.3.3 熱絲CVD金剛石薄膜涂層大尺寸整體式硬質(zhì)合金刀具的切削性能試驗(yàn)
3.4 熱絲CVD金剛石薄膜涂層小尺寸整體式硬質(zhì)合金刀具的制備及應(yīng)用
3.4.1 熱絲CVD金剛石薄膜涂層小尺寸整體式硬質(zhì)合金刀具的制備
3.4.2熱絲CVD金剛石薄膜涂層小尺寸整體式硬質(zhì)合金刀具的應(yīng)用
第四章 熱絲CVD金剛石薄膜涂層拉拔模具的制備及應(yīng)用
4.1 引言
4.2 熱絲CvD金剛石薄膜涂層拉拔模具的制備裝置
4.2.1 大孔徑拉拔模具金剛石薄膜涂層制備裝置
4.2.2 小孔徑拉拔模具金剛石薄膜涂層制備裝置
4.3 熱絲CVD金剛石薄膜涂層拉拔模具的制備工藝
4.3.1 襯底預(yù)處理
4.3.2 沉積工藝
4.3.3 性能表征
4.3.4 后處理工藝
4.4 熱絲CVD金剛石薄膜涂層拉拔模具的應(yīng)用
4.5 熱絲CVD金剛石薄膜細(xì)長(zhǎng)管的制備
4.5.1 襯底的選擇
4.5.2 制備裝置
4.5.3 圓柱體表面金剛石薄膜涂層的制備工藝及性能表征
4.5.4 襯底去除方法
4.5.5 金剛石管質(zhì)量性能表征
4.6 熱絲CVD金剛石薄膜細(xì)長(zhǎng)管的應(yīng)用
第五章 結(jié)論與展望
5.1 結(jié)論
5.2 展望
參考文獻(xiàn)