微光機(jī)電系統(tǒng)（MOEMS）

定　價(jià)：￥28.00

作　者：	張文棟，熊繼軍編著
出版社：	機(jī)械工業(yè)出版社
叢編項(xiàng)：	光機(jī)電一體化技術(shù)叢書(shū)
標(biāo)　簽：	機(jī)電控制

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ISBN：	9787111192664	出版時(shí)間：	2006-08-01	包裝：	膠版紙
開(kāi)本：	16開(kāi)	頁(yè)數(shù)：	310	字?jǐn)?shù)：

內(nèi)容簡(jiǎn)介

　　本書(shū)介紹了微光機(jī)電系統(tǒng)（Nicro-Optical-Electro-mechical System，MOEMS）的國(guó)內(nèi)外發(fā)展?fàn)顩r，微器件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與仿真，常用的微制造技術(shù)，如表面工藝、體硅工藝和LIGA工藝，封裝技術(shù)等。本書(shū)的重點(diǎn)是介紹各種MOEMS器件，包括微力學(xué)器件、RF微器微光學(xué)器件、微流體器件以及微溫度傳感器和微磁場(chǎng)傳感器等。介紹微器件時(shí)，本書(shū)從各器件的工作原理、工藝步驟、性能指標(biāo)等入手，意在使讀者更好地了解目前已經(jīng)研制成功的各種微器件及微系統(tǒng)，并能在實(shí)際的工程中考慮使用。本書(shū)可作為從事MOEMS技術(shù)應(yīng)用和開(kāi)發(fā)的工程設(shè)計(jì)人員，科技管理人員以及相關(guān)專業(yè)研究生的參考書(shū)。

作者簡(jiǎn)介

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圖書(shū)目錄

叢書(shū)序
前言
第1章微光機(jī)電系統(tǒng)概述
1.1 微光機(jī)電系統(tǒng)的定義與歷史
1.2 MOEMS的應(yīng)用和市場(chǎng)前景
1.3 與MOEMS相關(guān)的資訊
參考文獻(xiàn)
第2章 MOEMS的設(shè)計(jì)與仿真
2.1 微型化帶來(lái)的“特殊”理論問(wèn)題
2.2 MOEMS的設(shè)計(jì)過(guò)程
2.3 MOEMS的仿真及其軟件
2.4 MOEMS CAD軟件
參考文獻(xiàn)
第3章典型的微結(jié)構(gòu)制造工藝
3.1 微電子工藝概述
3.2 表面工藝
3.3 體硅工藝
3.4 LIGA工藝
3.5 微制造工藝小結(jié)
參考文獻(xiàn)
第4章 MOEMS器件
4.1 MOEMS器件的敏感原理和執(zhí)行方式
4.2 微力學(xué)器件
4.3 RF微器件
4.4 微光學(xué)器件
4.5 微流體器件
4.6 其他微傳感器
參考文獻(xiàn)
第5章微系統(tǒng)集成
5.1 微封裝技術(shù)
5.2 微系統(tǒng)集成應(yīng)用實(shí)例
參考文獻(xiàn)