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固體電子學(xué)中的等離子體技術(shù)

固體電子學(xué)中的等離子體技術(shù)

定　價：￥3.30

作　者： 錢振型主編
出版社： 電子工業(yè)出版社
叢編項：
標(biāo)　簽： 半導(dǎo)體器件 等離子體加工 低溫
ISBN： 9787505300965 出版時間： 1987-11-01 包裝：
開本： 26cm 頁數(shù)： 310頁 字?jǐn)?shù)：  

內(nèi)容簡介

　　高等學(xué)校教學(xué)用書。

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