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集成電路制造技術(shù)：原理與實踐

集成電路制造技術(shù)：原理與實踐

定　價：￥7.65

作　者： 莊同曾等編
出版社： 電子工業(yè)出版社
叢編項：
標(biāo)　簽： 集成電路工藝
ISBN： 9787505301740 出版時間： 1987-11-01 包裝：
開本： 26cm 頁數(shù)： 725頁 字?jǐn)?shù)：  

內(nèi)容簡介

　　本書是一本較全面地介紹集成電路制造技術(shù)的書籍，共分16章，包括單晶制備，芯片制造，化學(xué)氣相淀積，完美晶體工藝等。

作者簡介

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