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等離子體與成膜基礎

等離子體與成膜基礎

定　價：￥11.40

作　者： （日）小沼光晴著；張光華編譯
出版社： 國防工業(yè)出版社
叢編項：
標　簽： 等離子體物理學∶薄膜物理學 薄膜物理學∶等離子體物理學
ISBN： 9787118011418 出版時間： 1994-06-01 包裝：
開本： 19cm 頁數(shù)： 238頁 字數(shù)：  

內(nèi)容簡介

　　分：等離子體的概念和狀態(tài)、低溫等離子體與成膜、非晶硅薄膜的高速沉積等9章。

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