薄膜生長

定　價：￥28.00

作　者：	吳自勤，王兵著
出版社：	科學(xué)出版社
叢編項：	中國科學(xué)院研究生教學(xué)叢書
標(biāo)　簽：	薄膜生長

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ISBN：	9787030091529	出版時間：	2001-09-01	包裝：	簡裝本
開本：	20cm	頁數(shù)：	419	字?jǐn)?shù)：

內(nèi)容簡介

　　《薄膜生長/中國科學(xué)院研究生教學(xué)叢書》集中介紹了薄膜科學(xué)中的關(guān)鍵部分——薄膜生長。全書由15章五個方面的內(nèi)容組成：第一至四章主要從薄膜的角度介紹相平衡和晶體表面原子結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)知識。第五至七章主要介紹薄膜中的缺陷和擴散，第八、九章主要介紹薄膜生長的三種模式和成核長大動力學(xué)。第十至十三章主要介紹金屬薄膜、半導(dǎo)體薄膜、氧化物薄膜的生長和生長中出現(xiàn)的分形現(xiàn)象。第十四、十五章介紹薄膜制備和研究的各種方法?！侗∧どL/中國科學(xué)院研究生教學(xué)叢書》不僅系統(tǒng)地介紹了有關(guān)薄膜生長的固體物理學(xué)知識，而且介紹了薄膜生長的前沿進展和薄膜檢測的各種先進方法?！侗∧どL/中國科學(xué)院研究生教學(xué)叢書》可作為固體物理、材料科學(xué)專業(yè)的研究生教學(xué)用書，也可供從事薄膜研制和生產(chǎn)的科技人員參考。

作者簡介

暫缺《薄膜生長》作者簡介

圖書目錄

第一章相平衡和界面相
1.1 相平衡
1.2 元素和合金的相圖
1.3 固溶體的能量
1.4 固溶體的組態(tài)腦
1.5 界面相
1.6 界面曲率半徑的影響
1.7 晶體表面能、界面能和黏附能
1.8 固體表面張力的測定方法
1.9 表面能對薄膜穩(wěn)定性的影響
參考文獻
第二章晶體和晶體表面的對稱性
2.1 晶體的對稱性
2.2 晶體表面的對稱性
2.3 晶面間距和晶列間距公式
2.4 倒易點陣
參考文獻
第三章晶體表面原子結(jié)構(gòu)
3.1 晶體表面的原子結(jié)構(gòu)
3.2 表面原子的配位數(shù)
3.3 表面的臺面-臺階-扭折（TLK）結(jié)構(gòu)
3.4 鄰晶面上原子的近鄰數(shù)
3.5 晶體表面能的各向異性
3.6 臺階和臺面的粗糙化
參考文獻
第四章再構(gòu)表面和吸附表面
4.1 再構(gòu)表面和吸附表面結(jié)構(gòu)的標(biāo)記
4.2 半導(dǎo)體再構(gòu)表面結(jié)構(gòu)
4.3 金屬再構(gòu)表面結(jié)構(gòu)
4.4 吸附表面結(jié)構(gòu)
4.5 表面相變
參考文獻
第五章薄膜中的晶體缺陷
5.1 密堆積金屬申的點缺陷
5.2 半導(dǎo)體中的點缺陷
5.3 表面點缺陷
5.4 位錯和層錯
5.5 孿晶界和其他面缺陷
參考文獻
第六章外延薄膜中缺陷的形成過程
6.1 晶格常數(shù)和熱膨脹系數(shù)的影響
6.2 異質(zhì)外延薄膜中的應(yīng)變
6.3 外延薄膜中的錯配位錯
6.4 島狀薄膜中的應(yīng)變和錯配位錯
6.5 外延薄膜中其他缺陷的產(chǎn)生
參考文獻
第七章薄膜中的擴散
7.1 擴散的宏觀定律和微觀機制
7.2 短路擴散
7.3 半導(dǎo)體晶體中的擴散
7.4 短周期超晶格中的互擴散
7.5 反應(yīng)擴散
7.6 表面擴散
7.7 表面擴散的實驗研究方法
7.8 電遷移
參考文獻
第八章薄膜的成核長大熱力學(xué)
第九章薄膜的成核長大動力學(xué)
第十章金屬薄膜的生長
第十一章半導(dǎo)體薄膜的生長
第十二章氧化物薄膜的生長
第十三章薄膜中的分形
第十四章薄膜的制備方法
第十五章薄膜研究方法